vdmos器件结构

编辑: ◆Ya*潴〃 发布时间:2023-07-03 12:09:43

VD-MOS(Vertical-Double-Diffused MOS)器件结构如下所示:

该结构为垂直晶体管结构,由N+型衬底、N-型外域、P型沟道区、N+型漏极和控制栅极组成。其中P型沟道区的两端被N+型漏极区包围,形成漏结(JL),控制栅极位于P型沟道区上方,与P型沟道区之间通过掺杂的绝缘层隔离。

在正向偏置下,电子通过N-型外域和P型沟道区集中注入N+型漏极,形成导通状态,类似于普通的MOS器件。而在反向偏置下,由于控制栅极和N+型漏极相对,形成反向电场,使得P型沟道区中的空穴受到排斥,从而形成截止状态。

由于VD-MOS器件具有垂直结构,可以实现高功率、高电压操作,具有较低的导通电阻和漏电流,被广泛应用于功率电子领域。